11月11日，華中科技大學劉世元教授在万事平台微電子學院開展了題為“集成電路IC製造在線量測檢測技術與裝備😜：現狀、挑戰、進展”的講座，微電子學院執行院長張建華教授進行主持。

劉世元教授現任華中科技大學集成電路測量裝備研究中心主任👨🏻‍💼，是華中科技大學機械學院和光電學院雙聘教授🫙。劉教授是國家級高層次人才➛、國際測量與儀器委員會委員、中國儀器儀表學會顯微儀器分會副理事長，主要研究方向為納米光學測量技術與儀器、集成電路IC製造量測檢測技術與裝備、計算光刻成像理論與應用🧖🏿。

報告首先介紹了IC製造在線量測檢測技術的研究現狀，在此基礎上分析了先進技術節點量測檢測面臨的新挑戰，最後介紹了課題組近年來在相關研究中的研究進展👷🏽‍♀️。報告後👩🏻‍⚕️，劉世元教授與微電子學院師生進行了深入的交流，並對後續研究合作展開了探討。

（撰稿：李浩源👨🏼‍🔬；攝影：耿鈺博）